តើភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនខ្ពស់បំផុតរបស់ម៉ាស៊ីនមានកម្រិតប៉ុន្មាន?

1) Roughing គឺដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបង្វិលដោយប្រើជម្រៅកាត់ធំ និងអត្រាចំណីធំដោយមិនកាត់បន្ថយល្បឿនកាត់ ប៉ុន្តែភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនអាចឈានដល់ត្រឹម IT11 ហើយភាពរដុបលើផ្ទៃគឺ Rα20-10μm។

2) រថយន្តពាក់កណ្តាលសម្រេច និងចម្រាញ់គួរតែប្រកាន់យកល្បឿនខ្ពស់ និងអត្រាចំណីតូច និងជម្រៅកាត់ឱ្យបានច្រើនតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីនអាចឈានដល់ IT10-IT7 ហើយភាពរដុបលើផ្ទៃគឺ Rα10-0.16μm។

3) នៅលើម៉ាស៊ីនក្រឡឹងដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ឧបករណ៍បង្វែរគ្រាប់ពេជ្រដែលកិនល្អិតល្អន់ក្នុងល្បឿនលឿនបញ្ចប់ផ្នែកដែកមិនមែនដែកអាចធ្វើឱ្យម៉ាស៊ីនមានភាពជាក់លាក់ឈានដល់ IT7-IT5 ហើយភាពរដុបលើផ្ទៃគឺ Rα0.04-0.01μm។ការបង្វិលនេះត្រូវបានគេហៅថា "ការបង្វិលកញ្ចក់" ។